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目标

成为全球光电子行业重要企业.

价值

创新, 合作, 卓越, 客户至上.

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波长设计

Smarc镜头可选种类

干涉仪透镜

平面标准镜
球面标准镜F/0.75
球面标准镜F/1.0
球面标准镜F/2.0
球面标准镜F/2.8
球面标准镜F/5.0

本公司的Smarc系列（D25口径）干涉仪的镜头与富士能的干涉仪镜头是可以通配使用的。

Smarc标准镜头选配

F值 R0(mm) 可测量的曲率半径 可测量的最大口径
凹 凸 凹 凸
0.7 9.36 105 6 150 15
1.0 17.37 100 14 100 18
1.5 30.01 83 27 53 19
2.0 37.95 75 34.8 37.5 19
3.0 59.29 50 56 17 23
5.0 102.33 8 99 2 24

镜头的选配主要取决于被测件的f，f=R/D，式中R为被测件的曲率半径，D为被测件的口径。选择F值小于f镜头测量，可测其全口径；若镜头的F值大于f时，则被测件实测的口径仅为被测件全口径的f/F.

注意测量凸面时，曲率半径不可以大于所选镜头的R0，这是无法进行测量的；口径不可以大于所选镜头的凸面可测量的最大的口径，这样只能测量到被测件的局部。

D60标准镜可选种类

平面标准镜
球面标准镜F/0.75
球面标准镜F/1.0
球面标准镜F/2.0
球面标准镜F/2.8
球面标准镜F/5.0

本公司的D60口径干涉仪的镜头与富士能的干涉仪镜头是可以通配使用的。

立式 60标准镜头选配

F值 R(mm) 可能测量的曲率半径 可能测量的最大口径
凹 凸 凹 凸
0.7 23 0~277 0~22 0~397 0~37
1.0 43 0~257 0~42 0~257 0~46
2.0 105 0~195 0~104 0~97 0~58
2.8 150 0~150 0~149 0~50 0~60
5.0 278 0~22 0~277 0~4 0~60

卧式60标准镜头选配

F值 R(mm) 可能测量的曲率半径 可能测量的最大口径
凹 凸 凹 凸
0.7 23 0~ 0~22 0~650 0~37
1.0 43 0~ 0~42 0~450 0~46
2.0 105 0~ 0~104 0~195 0~58
2.8 150 0~ 0~149 0~100 0~60
5.0 278 0~ 0~277 -- 0~60

D100标准镜头可选种类

平面标准镜
球面标准镜F0.75
球面标准镜F/1.5
球面标准镜F/3.3
球面标准镜F/5.0
球面标准镜F/7.0
球面标准镜F/11.0

本公司的D100口径干涉仪的镜头与ZYGO公司的干涉仪镜头是可以通配使用的。

Marc-100(立式)标准镜头选配表

F值 R0(mm) 可测量的曲率半径 可测量的口径
凹 凸 凹 凸
0.75 47.14 0~453 0~45 0~603 0~60
1.5 120 0~380 0~118 0~253 0~90
3.3 317 0~183 0~315 0~60 0~96
5.0 490 0~10 0~487 0~2 0~98
7.0 667 —— 117~665 —— 0~98
11.0 1050 —— 650~1030 —— 0~98

Marc-100(卧式)标准镜头选配表

F值 R0(mm) 可测量的曲率半径 可测量的口径
凹 凸 凹 凸
0.75 47.14 0~ 0~45 0~ 0~60
1.5 120 0~ 0~118 0~ 0~90
3.3 317 0~ 0~315 0~ 0~96
5.0 490 0~ 0~487 0~ 0~98
7.0 667 0~ 0~665 0~ 0~98
11.0 1050 0~ 0~1030 0~ 0~98